domingo, 24 de junio de 2012

Fabricación de MEMs y otros nanoobjetos

El Cornell NanoScale Science & Technology Facility (CNF) es un centro nacional de investigación que dispone de una amplia gama de equipos científicos para el trabajo a nanoescala, junto con el apoyo de personal experto. El año 2007 cumplió su 30 aniversario.

La investigación en el CNF abarca las ciencias físicas, la ingeniería y las ciencias de la vida. El centro recibe más de 700 invesigadores al año (El 50% de los cuales vienen de otras universidades americanas) para construir estructuras, dispositivos y sistemas a escala nano. Cada semana, nuevos usuarios procedentes del mundo académico, de la industria y de los laboratorios del gobierno aprenden a utilizar las herramientas disponibles en el centro para llevar a cabo sus proyectos de investigación.

El CNF está abierto las 24 horas del día, y proporciona un entorno interactivo para el aprendizaje y la investigación de vanguardia. Los usuarios externos suelen pasar una semana en el CNF para completar su trabajo con el apoyo del personal del centro. Muchos proyectos también pueden llevarse a cabo de forma remota.

El centro incluye estos equipamientos:

FOTOLITOGRAFÍA (Equipos para la fabricación de máscaras, aplicación de recubrimientos fotosensibles, exposión a la luz, curado mediante rayos ultravioletas y eliminación de sustratos.)

HORNOS PARA PROCESADO DE MATERIALES (Hornos para el tratamiento de sustratos de óxido de silicio y deposición de polisilio, nitrato de silicio y óxido de silicio, así como para la limpieza de obleas para prepararlas para la deposición de nuevas capas.)

SERVICIOS INFORMÁTICOS (Proporciona recursos para el diseño asistido por ordenador (CAD), simulaciòn y análisis.)

LITOGRAFÍA MEDIANTE HAZ DE ELECTRONES (Herramientas para aplicar recubrimientos, exponerlos y fabricar obleas, utilizando litografía de haces de electrones de gran resolución.)

ENSAYOS ELÉCTRICOS (Equipos de metrología eléctrica para el ensayo de elementos semiconductores.)

METROLOGÍA (Equipos para la medida de diferentes características de los sustratos durante el proceso de fabricación o una vez acabada.)

SEMS Y MICROSCOPIOS (Microscopios electrónicos y ópticos, y otras herramientas de inspección óptica de nanoelementos.)

GRABADO (Equipos para el grabado en seco para la transferencia a los sustratos en nanoescala de los diseños previamente realizados.)

FABRICACIÓN DE SEMICONDUCTORES DE CAPA FINA (Herramientas para la deposición, aislamiento, creación de semiconductores y creación de capas metálicas en los sustratos.)

ENCAPSULADO (Equipos para el encapsulado de los componentes a nanoescala.)

OTROS EQUIPAMIENTOS (Laboratorios químicos, etc.)

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